酸锶靶材作为众多靶材种类中的一种，其大部分细分产品都有着较高的附加价值，在许多领域中被广泛应用。越来越多的企业会根据自己的需求进行酸锶靶材专业定制，那么定制的酸锶靶材是怎样制备的。

由于定制的酸锶靶材种类众多，因此在本文专业靶材研发生产公司之一的南京皮埃路围绕SrRuO3陶瓷靶材为大家介绍其特点以及制备方法。

钌酸锶分子式为SrRuO3，具有极好的导电性，这是一种具有高附加价值的特种电子材料，主要作为导电电极使用在微电子，显示器，存储器以及光学镀膜等产业上。在钛酸锶SrTiO3单晶基片上生长的铁电或介电薄膜通常采用钌酸锶薄膜做电极。钌酸锶靶材的结晶粒子直径和均匀性已被认为是影响薄膜沉积率的关键因素，接下来我们来讲讲如何制备高质量的单相钌酸锶靶材。

本文以皮埃路电子技术有限公司生产的SrRuO3陶瓷靶材为例，为大家具体讲述它的参数规格和制备方法。

1. 陶瓷靶材制备方法：采用99.95%纯度SrCO3、99.9%或99.99%纯度 RuO2粉末, 按化学计量比配料，球磨5至8小时后混合均匀，在大于1100度通过热压烧结制备陶瓷靶材。

2. 陶瓷靶材规格：单一结构相；直径20至50毫米，厚度3至6毫米；SrRuO3含有贵金属元素 Ru，靶材价格通常在3500元及以上。

 

如有想要专业定制酸锶靶材的客户，欢迎咨询皮埃路电子技术有限公司。

皮埃路电子自成立以来，始终秉承客户至上，质量至上的理念，根据客户的要求生产稳定可靠的靶材产皮埃路电子技术有限公司是南京政府321项目资助的高科技公司，由新加坡南洋理工大学、南京理工大学、南京航空航天大学和南京大学的几位教授负责技术指导。我们乐意为您定制高纯、高密度的溅射靶材，方便您进一步通过磁控溅射、脉冲激光沉积（PLD）系统制备高质量的薄膜。

如果您希望研究一种目前尚未存在的单晶薄膜，您可以自己设计组分，我们会为您量身定做专用的氧化物陶瓷靶材、也可以组织专家学提供薄膜生长方面的建议。我们也可以通过的磁控溅射或PLD为您定做相应的薄膜，甚至进行XRD、SEM和AFM检测。在您提出需求和签订合同之后，我们将在3-5周内为您提供专用的高质量靶材。我们的每个靶材的原材料纯度都保证在99.9%以上，部分靶材的原材料纯度可以实现99.99%。靶材价格是由原材料和加工难度决定的，具体费用请拨打吸顶悬浮的电话联系咨询！