伴随着科技不断发展，国内靶材的生产研发水平也在逐渐提高着。O3靶材作为其中一种，凭借其优异的性能受到广大用户的青睐。O3靶材哪家供应？是很多用户一直以来比较关注的问题，本文专注于靶材研发生产的南京皮埃路总结了相关内容和大家分享。

靶材种类众多，大体上可以分为金属靶材、陶瓷靶材和合金靶材。在细分上更为繁多，很多人可能都还不清楚什么是O3靶材，那么在本文先为大家介绍O3靶材的定义。

                 

化学式中含有金属离子和三个氧原子的靶材简称O3靶材。O3靶材包括简单金属氧化物，比如：Al2O3、Bi2O3、Co2O3、Er2O3、Fe2O3、Ga2O3、La2O3、Nd2O3、In2O3等等。O3靶材也包括多种复杂氧化物，其中常见的是ABO3型氧化物，比如：SrRuO3、BiFeO3、BaTiO3、BiFeO3、BaFeO3、BaSnO3、BaZrO3、CaTiO3、LiNbO3、EuTiO3、CaMnO3、HoMnO3、KNbO3、LaTiO3、GdNiO3、LuNiO3、PrTiO3、PbNiO3、PbTiO3、PbZrO3、PrMnO3、SrCoO3、SmMnO3、SrFeO3、SrTiO3、TbMnO3、YAlO3、ZnMnO3、ZnFeO3、ZnGaO3等等。

本文以皮埃路电子技术有限公司生产的BaTiO3陶瓷靶材为例，为大家具体讲述O3靶材的制备方法和规格参数。

1. 陶瓷靶材制备方法：采用99.95%纯度BaCO3和TiO2粉末, 按化学计量比配料，球磨5至8小时后混合均匀，在大于1100度通过固相烧结方法制备陶瓷靶材。

2. 陶瓷靶材规格：单一结构相；直径20至50毫米，厚度3至6毫米，高质量的BaTiO3靶材价格通常在2000元及以上。

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皮埃路电子技术有限公司是南京政府321项目资助的高科技公司，由新加坡南洋理工大学、南京理工大学、南京航空航天大学和南京大学的几位教授负责技术指导。我们乐意为您定制高纯、高密度的溅射靶材，方便您进一步通过磁控溅射、脉冲激光沉积（PLD）系统制备高质量的薄膜。

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